Questões de Engenharia Elétrica da FUNRIO

Na corrosão tipo RIE (reactive ion etching), o efeito sinergético aparece por causa de interação de que fatores?

A) Alta temperatura dos elétrons e dos íons.

B) Alta energia de íons e o aquecimento da amostra.

C) Alta energia de íons e o aquecimento do eletrodo.

D) Bombardeamento iônico e amorfização do material por radicais reativos.

E) Irradiação da amostra por fótons UV e bombardeamento iônico.

Para aumentar a anisotropia de corrosão por plasma RIE, é necessário:

A) Diminuir a potência e aumentar a pressão de gás.

B) Aumentar a frequência de gerador.

C) Diminuir a frequência de gerador.

D) Aumentar potência e diminuir a pressão de gás.

E) Aumentar potência e aumentar a pressão de gás.

Em processo RIE, com aumento da potência de gerador:

A) Aumenta a seletividade e taxa de corrosão.

B) Aumenta a anisotropia e a taxa de corrosão.

C) Melhora a seletividade de corrosão.

D) Diminui a taxa de corrosão.

E) Diminui a temperatura da amostra.

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