Questões de Engenharia Elétrica da FUNRIO

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São tipos de plasma de alta densidade:

Para processos tipo RIE de corrosão de Si em descargas assimétricas, qual dos eletrodos é utilizado para fixar a lâmina?

Qual o intervalo típico de densidade de cargas elétricas (elétrons e íons) em plasmas de alta densidade?

Quais as principais vantagens de plasmas de alta densidade tipo ICP (acoplamento indutivo) em comparação com plasmas com acoplamento capacitivo, para processos de corrosão?

A remoção de fotorresiste por plasma (Ashing) é realizada utilizando descarga em quais gases?

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