Questões de Engenharia Elétrica do ano 2012

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Listagem de Questões de Engenharia Elétrica do ano 2012

A remoção de fotorresiste por plasma (Ashing) é realizada utilizando descarga em quais gases?

Qual a principal aplicação de plasmas na microeletrônica?

Para detecção do ponto final de corrosão de lâminas de Si pela espectroscopia ótica, são utilizados sinais de emissão de radicais presentes no plasma:

Qual a finalidade da fase do processo RIE chamada breakthrough?

Maior seletividade em processos de corrosão de SiO2 em comparação com Si, é obtida com misturas de gases incluindo:

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