Qual a definição de resolução em litografia?...

#Questão 579326 - Química, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Qual a definição de resolução em litografia?

A) Menor distância entre dois pontos observados no microscópio.

B) Espaço entre duas estruturas em um dispositivo.

C) Comprimento de onda do UltraVioleta utilizado.

D) Menor distância entre duas linhas definidas no resiste.

E) Significado definido pelo fabricante da alinhadora.

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