Quanto aos reatores de deposição química de vapor melhora...

#Questão 569783 - Física, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Quanto aos reatores de deposição química de vapor melhorada por plasma (PECVD), é correto afirmar que

A) as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões acima de 0,1 atm.

B) as frequências utilizadas estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões são de até 0,01 atm.

C) as frequências utilizadas estão na faixa do ultravioleta e as pressões acima de 0,1 atm.

D) as frequências utilizadas estão na faixa dos raios-X e as pressões são de até 0,01 atm.

E) as frequências estão na faixa da radiofrequência e das micro-ondas e as pressões devem ser maiores que 0,1 atm.

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