Uma técnica metrológica de grande importância em microfab...

#Questão 426147 - Engenharia Física, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Uma técnica metrológica de grande importância em microfabricação é a microscopia de força atômica. Com relação ao uso dessa ferramenta em microeletrônica NÃO se pode afirmar o seguinte:

A) Medidas com resolução de profundidade de até 0,01nm são possíveis.

B) AFM é usada para medir a rugosidade da superfície de wafers de Si.

C) A interação da sonda com a amostra pode danificar tanto a amostra quanto a sonda.

D) As sondas tem elevadíssima razão de aspecto, o que permite obter imagens de objetos nanométricos.

E) A resolução lateral é limitada pelo mecanismo piezoelétrico de varredura.

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