Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a...

#Questão 413596 - Engenharia Elétrica, Princípios de Ciências dos Materiais, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Que filmes são depositados por LPCVD (deposição química a partir da fase vapor executada em baixa pressão)?

1 -W e SiO2.

2 - SiO2 e Si3N4.

3 - Si3N4 e silício policristalino.

4 - Si3N4, SiO2 e silício policristalino.

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