No referente a monitoramento de gases residuais em sistemas de vácuo, julgue os seguintes itens.
O analisador de gases residuais utilizado deve ser sensível a uma pressão parcial de pelo menos 1 × 10-28 mbar (1 × 10-26 Pa) e ser capaz de varrer uma faixa de massa de 1 a 200 unidades de massa atômica (u).
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