Como se define a profundidade de foco em fotolitografia?...

#Questão 113434 - Química, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Como se define a profundidade de foco em fotolitografia?

A) É a maior profundidade em que é projetada a imagem no fotorresiste sem que haja perda de definição das bordas.

B) É a maior área do fotorresiste iluminada durante a exposição litográfica.

C) É a distância em que deve ser colocada a lâmina de silício em relação à máscara litográfica.

D) É a espessura máxima do fotorresiste.

E) É a profundidade das trincheiras obtidas após a revelação do fotorresiste.

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