Quais as principais causas do limite de resolução em foto...

#Questão 113432 - Química, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Quais as principais causas do limite de resolução em fotolitografia?

A) Espessura do fotorresiste, tempo de cura e revelador.

B) Material da máscara litográfica e tipo de alinhadora.

C) Tecnologia do dispositivo e fabricante da máscara.

D) Revelador utilizado, tempo de exposição do fotorresiste e conteúdo sólido do fotorresiste.

E) Comprimento de onda, tipo de fotorresiste, sistema ótico da alinhadora e limite de definição da máscara.

Navegue em mais questões

Erro ao Ler: SQLSTATE[HY093]: Invalid parameter number: number of bound variables does not match number of tokens