Como é verificado o erro de alinhamento entre níveis na l...

#Questão 113424 - Química, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Como é verificado o erro de alinhamento entre níveis na litografia?

A) Através das marcas de alinhamento.

B) Através de estruturas do tipo Verniers.

C) Por interferência ótica.

D) Pela medição da largura de linha.

E) Pela resolução do sistema ótico.

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