Quais as funções das curas no processamento do fotorresis...

#Questão 113421 - Química, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Quais as funções das curas no processamento do fotorresiste positivo, sotbake, PEB e hardbake respectivamente:

A) Amolecimento do fotorresiste, uniformização da área exposta, endurecimento do fotorresiste.

B) Amolecimento do fotorresiste, exposição do fotorresiste, endurecimento do fotorresiste.

C) Uniformização da camada, endurecimento do fotorresiste, interrupção da revelação.

D) Refluxo do fotorresiste, evaporação do solvente e inibição do foto-ácido.

E) Evaporação do solvente e ativação do foto-ácido, refluxo do fotorresiste e inibição do foto-ácido com estabilização do fotorresiste.

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