Como é definida a tolerância que pode ser aceita em um pr...

#Questão 113402 - Química, Geral, FUNRIO, 2012, Centro Nacional de Tecnologia Eletrônica Avançada S.A. - CEITEC, Analista Administrativo

Como é definida a tolerância que pode ser aceita em um processo litográfico?

A) Pelas regras de leiaute do CI em ¼ da menor dimensão do dispositivo.

B) Pela tecnologia, atualmente em 0,27 micrometros.

C) Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes a resolução do sistema.

D) Pela resolução do sistema ótico, 4 vezes o comprimento de onda.

E) Pelo menor passo da alinhadora.

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